半導(dǎo)體芯片“自主研發(fā)”已然成為中國科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵共識，但有一家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)早從 14 年前就開始為中國科技產(chǎn)業(yè)研發(fā)實(shí)力積累埋頭苦干，更在三年前因成功開發(fā)“等離子刻蝕機(jī)”而聲名大噪，讓美國商業(yè)部將該技術(shù)從“國家安全出口管制”名單中剔除，這是中國半導(dǎo)體技術(shù)研發(fā)史上的一大勝利，這份成就，來自于中微半導(dǎo)體。
中微半導(dǎo)體是國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金（大基金）成立后投資的第一家公司。在 2017 年 1 月美國總統(tǒng)科技專家委員會（PCAST）發(fā)布的國情咨文“確保美國在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的長期領(lǐng)導(dǎo)地位”報(bào)告中，分析中國集成電路的芯片設(shè)計(jì)、制造、設(shè)備、材料和封裝產(chǎn)業(yè)，在 32 頁的報(bào)告里唯一提到的中國公司名字就是中微（AMEC）。
“國產(chǎn)設(shè)備界教父”尹志堯，創(chuàng)業(yè)史與“中國半導(dǎo)體之父”張汝京十分相似
身為中微半導(dǎo)體創(chuàng)辦人之一，目前擔(dān)任中微董事長的尹志堯博士在國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備界創(chuàng)業(yè)的過程，與中芯國際創(chuàng)辦人張汝京有著非常相似的背景。
張汝京從美國德州儀器到臺灣創(chuàng)立世大集成電路（WSMC），又到上海創(chuàng)立中芯國際。而尹志堯則是在 60 歲從美企應(yīng)用材料退休后，到上海創(chuàng)立中微，更在過去 11 年里三次從國際大廠的輪番法律訴訟戰(zhàn)中，成功全身而退，創(chuàng)下中國半導(dǎo)體發(fā)展史上傳奇的一頁。
DT 君日前獨(dú)家采訪尹志堯，即使對中國半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的貢獻(xiàn)成就卓越，他仍是一身謙遜儒雅的文人風(fēng)范。
在采訪一開始，他“囑咐”DT 君的第一句話不是別的，是希望這個(gè)采訪不要著墨太多個(gè)人事跡，因?yàn)橹形⒉皇撬粋€(gè)人創(chuàng)立的，當(dāng)初從美國回到中國的創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊(duì)有 15 個(gè)人，至今都是公司重要骨干，包括全球業(yè)務(wù)副總朱新萍、資深副總杜志游、副總倪圖強(qiáng)等，中微今日的成就，是所有人的共同努力。
尹志堯又強(qiáng)調(diào)，中微是從事產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展和商業(yè)競爭的事，不希望提高到政治和戰(zhàn)略的高度，做過分的渲染。
然而，如果讀者知曉尹志堯的一生事跡，可以了解他的職涯、創(chuàng)業(yè)過程，為什么會是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中，無法忽略不提的的重要標(biāo)竿之一。
半導(dǎo)體發(fā)展像舉鼎，資金、人才、政策缺一不可
這幾年芯片產(chǎn)業(yè)正在風(fēng)口上，很多人說中國半導(dǎo)體發(fā)展已有很長時(shí)間，但今年是“起風(fēng)”的一年。
尹志堯語重心長指出，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)還非常弱小，最大矛盾是不對稱競爭，中國企業(yè)的規(guī)模是外商大廠的十分之一到二十分之一，研發(fā)投入也只是外企的十分之一到二十分之一，在這種不對稱的競爭勢態(tài)下，如何能發(fā)展壯大？
尹志堯形容，發(fā)展半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)就象是支起一個(gè)鼎，鼎有三個(gè)腿：資金、人才和政策。只要三個(gè)腿堅(jiān)強(qiáng)有力，而且均衡支撐，產(chǎn)業(yè)的鼎就會順利頂起。近年來芯片投資蜂擁而至，看起來形勢很好，但有三個(gè)嚴(yán)重的不平衡：資金一頭大、人才嚴(yán)重不足、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策需要進(jìn)一步改進(jìn)升級。
這一波資金聚集在芯片制造，占總投入資金 90% 以上，然設(shè)備和材料領(lǐng)域占芯片制造廠成本 80%，分得的投資占比卻不到 5%，是嚴(yán)重不均衡。
根據(jù) SEMI 統(tǒng)計(jì)，2017 年中國占全球半導(dǎo)體銷售量 15%，排名全球第三，預(yù)計(jì)在 2019 年可攀升至全球第二，然而中國本土 IC 設(shè)備自制率卻低于 5%，仍是在巨頭間掙扎。
另一個(gè)問題是，幾乎全部的資金投入都是股本金，但缺乏長期低息貸款和研發(fā)項(xiàng)目資助，單純的股本金投入芯片生產(chǎn)線，是不能達(dá)到預(yù)期回報(bào)的。
在政策上，投融資政策、所得稅、進(jìn)出口、勞動法、產(chǎn)業(yè)鏈本土化、員工期權(quán)激勵和 IPO 上市政策等都需要做適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，很多相關(guān)政策都是從改革開放前期，為促進(jìn)引進(jìn)技術(shù)、來料加工而擬定的，現(xiàn)在應(yīng)該要全面重新檢視。
尹志堯強(qiáng)調(diào)，如果能迅速解決這三個(gè)不平衡，國內(nèi)的半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)就會高速、健康、均衡的發(fā)展。
半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備不只“光刻機(jī)”，7 納米以下“等離子刻蝕機(jī)”需求量飛速成長
中微半導(dǎo)體是生產(chǎn)芯片過程中最關(guān)鍵的設(shè)備：等離子刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜設(shè)備的供應(yīng)商。
觀察半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的演進(jìn)，從上世紀(jì) 50 年代的 128K 的電子管計(jì)算機(jī)，到 80 年代 128K 的存儲器件，再到 2015 年 128G Flash，人類微觀加工的能力在面積上縮小 1 萬億倍，這個(gè)意思是，如果把今天的手機(jī)退回到 50 年前，相當(dāng)于 200 萬棟五層樓里充滿了電子管。
微觀加工能力實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵，來自于芯片制造過程中近十個(gè)關(guān)鍵程序，分別為擴(kuò)散（Thermal process）、光刻（Litho）、等離子刻蝕（Etch）、化學(xué)氣相薄膜（CVD）、物理濺射膜（PVD）、離子注入（Ion Implant）、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）、清洗等。分屬于這些程序的設(shè)備為擴(kuò)散爐、光刻機(jī)、等離子刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理濺射設(shè)備，離子注入機(jī)、化學(xué)拋光機(jī)和清洗機(jī)等。
一般人提到半導(dǎo)體設(shè)備，首先想到的是光刻機(jī)，仿佛有了光刻機(jī)，所有芯片制造問題都迎刃而解。然殊不知，芯片制造程序千百道又極度復(fù)雜，只有光刻機(jī)是無法完成生產(chǎn)一片晶圓的。
在芯片制造中，有三道最關(guān)鍵的程序分別為光刻、等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積，在晶圓制造的過程中不斷循環(huán)重復(fù)，衍伸出來的設(shè)備產(chǎn)值也最高。若論難度，光刻技術(shù)是設(shè)備技術(shù)障礙最高的，而等離子刻蝕的難度是來自于上千種工藝過程開發(fā)的難度。
半導(dǎo)體制程技術(shù)到了 14 納米、 10 納米的結(jié)構(gòu)，需要走入二重模板（Double Patterning）曝光技術(shù)，因此對于刻蝕和薄膜的整合設(shè)計(jì)需求大量提升，才能符合更小線寬的要求，這樣的趨勢更讓刻蝕機(jī)和化學(xué)薄膜的組合拳成為芯片制造過程中，更重要的關(guān)鍵步驟。
再者，2D NAND 轉(zhuǎn)進(jìn) 3D NAND 技術(shù)的產(chǎn)業(yè)演變，也讓光刻技術(shù)的需求減少，反而是刻蝕和化學(xué)薄膜的需求量大增，使得這兩項(xiàng)設(shè)備組合拳成為市場增長最快的產(chǎn)品，年增長超過 16%，其中，等離子刻蝕已占整個(gè)設(shè)備投資比重高達(dá) 22%，正式超過光刻機(jī)。
中國一座座平地而起的晶圓廠，讓尹志堯不甘終生幫外企作嫁
談起當(dāng)年投身創(chuàng)立中微為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)打造自主技術(shù)設(shè)備的歷程，尹志堯認(rèn)為進(jìn)入一個(gè)產(chǎn)業(yè)，選對市場細(xì)分選項(xiàng)很重要，刻蝕機(jī)是處于高速成長的市場軌道上，年需求量已超過 70 億美元，而到 2025 年預(yù)計(jì)達(dá)到 150 億美元。把該市場做好，中微的成長性自然不斷向上。
目前中微已經(jīng)突破由美商應(yīng)用材料、泛林研發(fā)（Lam Research)、日本 TEL 外商壟斷的刻蝕機(jī)市場藩籬，擠入全球前五大供應(yīng)商，打入眾多國際大客戶包括臺積電、英特爾、聯(lián)電、 GlobalFoundries 、中芯國際、華力、長江存儲，博世和意法半導(dǎo)體等 40 條生產(chǎn)線。
尹志堯致力于物理化學(xué)反應(yīng)器領(lǐng)域已有 50 年，在 1980 年到美國前，就在石油化工和中國科學(xué)院從事催化劑和反應(yīng)器的研究和工業(yè)生產(chǎn)。在美國獲得博士學(xué)位后，先后任職于英特爾、泛林研發(fā)、應(yīng)用材料等國際半導(dǎo)體大廠。
14 年前，已從應(yīng)材退休的尹志堯看著中國一座座平地而起的晶圓廠，內(nèi)心不甘于一生所學(xué)都是“為人作嫁”，有感于亞洲半導(dǎo)體發(fā)展很快，中國變化更大，他們十幾個(gè)人毅然決心回國，為正興起的中國集成電路產(chǎn)業(yè)做出貢獻(xiàn)。
小蝦米對大鯨魚，三次國際大廠專利大刀砍來都奇跡脫身
中微在中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的傳奇，不單是打破關(guān)鍵技術(shù)的壟斷，其創(chuàng)業(yè) 14 年來，憑“小蝦米”之姿，面對三次“大鯨魚”的專利侵權(quán)訴訟大刀砍來，都奇跡似地從被動到主動，一直處于不敗之地，也是一頁傳奇。
時(shí)間重回 2007 年，就在那年中微剛研發(fā)出來的刻蝕機(jī)，即將進(jìn)入國際最先進(jìn)的晶圓代工生產(chǎn)線時(shí)，他的老東家應(yīng)材認(rèn)為有竊密之嫌，因此在美國聯(lián)邦法院提出訴訟。
為了證明自己的清白，中微聘請了美國一流的知識產(chǎn)權(quán)訴訟律師，花了兩年半的時(shí)間，徹查了中微 600 多萬件文件和 30 多人的電腦和文件，都沒有找到關(guān)于應(yīng)材的圖紙，技術(shù)數(shù)據(jù)和商業(yè)機(jī)密，這個(gè)訴訟最終得到和解。
談到這段歷史，以及后來在網(wǎng)上的報(bào)導(dǎo)，尹志堯特別跟 DT 君強(qiáng)調(diào)，網(wǎng)上關(guān)于當(dāng)年他和同事從美國回中國創(chuàng)業(yè)，被美國當(dāng)局清查了電腦，沒收了所有的 600 萬件文件，是被渲染的不實(shí)報(bào)道，是把商業(yè)競爭不必要的提高到其他層面所產(chǎn)生的副作用。
在中微和應(yīng)材的官司還沒和解之前，另一個(gè)美國競爭對手：泛林研發(fā)又向中微發(fā)難。
泛林研發(fā)在 2009 年在臺灣狀告中微的專利侵權(quán)。尹志堯表示，公司創(chuàng)立時(shí)就研究過對方的專利，確認(rèn)其專利無效的，即使對手的專利是有效，中微的設(shè)計(jì)是不一樣的，也未侵犯其專利。
該官司只經(jīng)過 8 個(gè)多月，中微就取得了一審的勝利，對方上訴四次都被法院駁回。而在此過程中，中微更掌握確鑿的證據(jù)指出對方竊取中微高度機(jī)密的技術(shù)文件，并在上海法院提出告訴，最后取得訴訟的勝利。
第三起專利訴訟來得兇猛，一度讓中微的產(chǎn)品遭禁運(yùn)
看到這里，可以知道中微的創(chuàng)業(yè)過程，是一路被告到大的小孩。而接棒砍下第三刀侵權(quán)官司的，是 2017 年 LED 設(shè)備廠商 Veeco 在美國紐約地方法院告 MOCVD 石墨托盤供應(yīng)廠商給中微提供的石墨托盤侵犯 Veeco 專利，而中微也立即采取反制行動，向中國專利局與其他國家專利主管機(jī)構(gòu)訴請 Veeco 的專利無效進(jìn)行反擊。
但就在美國法院仍在審理 Veeco 專利是否有效、中微設(shè)計(jì)是否侵權(quán)時(shí)，美國方面就先宣布對石墨托盤出貨禁令，讓中微無法獲得供貨，由于石墨盤是一個(gè)消耗件，此一變化讓使用中微 MOCVD 設(shè)備的 LED 客戶幾乎停產(chǎn)。
之后中微訴請 Veeco 的專利無效得到批準(zhǔn)，且在福建法院狀告 Veeco 托盤鎖定的設(shè)計(jì)侵權(quán)，最后福建高等法院也對 Veeco 進(jìn)口中國的 MOCVD 設(shè)備實(shí)施出貨禁令，一連串的動作讓 Veeco 不得不妥協(xié)，進(jìn)而與中微進(jìn)行和解談判，除了撤銷相關(guān)訴訟外，更進(jìn)一步同意與中微共享石墨托盤專利。
僅 18 個(gè)月就取下國內(nèi) MOCVD 設(shè)備 70% 市占，國產(chǎn)設(shè)備的另一奇跡
講到 MOCVD 設(shè)備的開發(fā)、量產(chǎn)到國內(nèi)市占率橫掃千軍，是中微的另一個(gè)驕傲。
2009 年時(shí)，藍(lán)光 LED 熱潮襲卷全球市場，政府大量補(bǔ)貼 LED 公司，鼓勵建立 LED 生產(chǎn)線，當(dāng)時(shí)的 MOCVD 設(shè)備市場全掌握在美國 Veeco 和德國 Aixtron 兩大外企之手。
在 2009 年到 2010 年之間，中國有高達(dá) 54 家的公司和研究所計(jì)劃開發(fā) MOCVD 設(shè)備，想要搶搭這一波熱潮順風(fēng)車，其中至少 25 家已開始開發(fā)，但 7 年后，真正量產(chǎn)的只有中微一家。
從 2016 年起，中微用僅僅 18 個(gè)月的時(shí)間就在中國的 MOCVD 設(shè)備市場拿下 70% 以上市場，取代了原本由美、德設(shè)備長期掌控的產(chǎn)業(yè)，打下不可思議的勝仗！
奇跡是如何被創(chuàng)造的？尹志堯表示，我們用半導(dǎo)體最高水平的技術(shù)去做 MOCVD 機(jī)臺，且這項(xiàng)產(chǎn)品和中微做過的 CVD 技術(shù)很類似，其他公司可以做出“樣機(jī)”，但樣機(jī)只是完成設(shè)備開發(fā)的 20 ％。
三次深陷國際大廠侵權(quán)訴訟的中微，次次全身而退，步步越戰(zhàn)越強(qiáng)，尹志堯強(qiáng)調(diào)重視知識財(cái)產(chǎn)權(quán)的重要性。
要做全球生意必須尊重各國法律，尊重知識產(chǎn)權(quán)
他早年任職于美商大企業(yè)，對待每一次的職業(yè)轉(zhuǎn)換都非常嚴(yán)肅認(rèn)真，絕對不攜帶任何資料到新公司，絕不侵犯任何專利，也這樣要求所有加入中微的員工。他強(qiáng)調(diào)，集成電路是國際化產(chǎn)業(yè)，要進(jìn)入這個(gè)產(chǎn)業(yè)必須要遵守中國，也要遵守美國的法律，才能做全球生意，如果違法而被制裁了，也不能將此無限上綱到政治層面。
尹志堯認(rèn)為，中國人對集成電路是有一定天賦，只要努力一定做得成，但過程必須要非常尊重知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)業(yè)發(fā)展幾十年下來，很多前人的技術(shù)研發(fā)成果已在前方，后面加入的人不可能不借鑒前人，但必須尊重別人的智財(cái)權(quán)，繞道而行，或是付專利費(fèi)。
從 2012 年開始，中微過去 6 年的每年?duì)I收成長率都保持 35% 上下，這兩年的年?duì)I收增長更是超過 50%。對于中微未來的期許，尹志堯表示，希望在 2028 年達(dá)到營收 100 億元，在規(guī)模上進(jìn)入國際工藝設(shè)備公司的前五強(qiáng)企業(yè)。
尹志堯強(qiáng)調(diào)，集成電路是全球化產(chǎn)業(yè)，不可能把它變成任何單一國家獨(dú)占的產(chǎn)業(yè)，且不可否認(rèn)地，近幾十年來芯片的技術(shù)開發(fā)和大生產(chǎn)，以及半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)都往亞洲延伸，中國的集成電路產(chǎn)業(yè)興起，是繼日本、韓國和臺灣發(fā)展后必定要發(fā)生的，任何人也阻止不了這趨勢。
如尹志堯所言，中國集成電路產(chǎn)業(yè)的起飛，是歷史的必然，是任何力量也擋不住的趨勢，但是，這是一個(gè)國際化產(chǎn)業(yè)，必須堅(jiān)持開放的做法，千萬不要像某些人那樣關(guān)起門來搞，同時(shí)必須高度重視知識產(chǎn)權(quán)，才能保障產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展，唯有如此，中國的集成電路產(chǎn)業(yè)才能真正接軌國際，趕上世界先進(jìn)水平。太原東方男健醫(yī)院
